Interactie van de invallende elektronenbundel met het specimen

De interactie van een hoogenergetische elektronenbundel met de vaste stof produceert teruggekaatste, secundaire en (bij zeer dunne specimens) transmissie-elektronen, ook Auger-elektronen en karakteristieke X-stralen en andere fotonen van verschillende energie (b.v. licht door kathodeluminescentie).