Klassiek W-elektronenkanon

Het genereren van een elektronenbundel is meestal gebaseerd op de thermo-ionische emissie van elektronen uit een filament (Wolfram) of een pin (LaB6) op hoge temperatuur en opgesteld als kathode tegenover een ringanode.

Ook met veldemissie kan een elektronenbundel opgewekt worden. Het elektrische veld in de tip is hier zo sterk dat de elektronen door de potentiaalbarrière kunnen tunnelen en de kathode zonder thermische energie verlaten. Dit resulteert in een hogere helderheid (meer elektronen in de bundel) bij een lagere versnellingsspanning.

Het spanningsverschil tussen kathode en anode bepaalt de versnellingsspanning en zo ook de potentiële resolutie.

Voor transmissie-elektronenmicroscopie (T.E.M.) worden typisch versnellingsspanningen van 100 kV tot enkele MV gegenereerd.

In de rasterelektronenmicroscoop liggen de aanslagspanningen tussen 200 V (veldemissie) en 50 kV.