Ontstaan van karakteristieke X-stralen

Karakteristieke X-stralen ontstaan wanneer invallende elektronen voldoende energie bezitten om de bindingselektronen (binnenste schillen) van de opbouwende atomen in het specimen uit hun baan te slaan. Het geëxciteerde (geoniseerde) atoom kan de lege plaats opvullen met een elektron uit een meer naar buiten liggende orbitaal. Deze terugkeer naar de grondtoestand kan resulteren in de productie van een karakteristiek X-stralenfoton met een wel gedefinieerde energie en golflengte.