Specificaties voor ultrazuiver water in de elektronische industrie

Voor het spoelen van geëtste en gemetaliseerde oppervlakken van halfgeleiders en voor de industriële bereiding van bepaalde farmaceutische producten heeft men een water nodig dat kwalitatief aan zeer strenge normen moet voldoen inzake opgeloste ionen, vaste deeltjes, organische stoffen en bacteriologisch materiaal.

De tabel geeft de specificaties, voorgesteld door het 'Integrated Circuit Manufacturer's Consortium', voor de kwaliteit van spoelwater bij de bereiding van 'chips'. Niet alleen moet men voor de ionische componenten de concentraties kunnen terugbrengen tot onder het microgram/l-niveau, maar bovendien worden zeer strenge eisen gesteld aan het gehalte vaste deeltjes en hun afmetingen, aan de hoeveelheid organische stoffen (TOC) en aan de bacteriologische activiteit.

Bron: Handboek procestechnieken en -engineering,  2000.